近日,江苏省新发布的《半导体行业污染物排放标准》(报批稿)规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求,以及标准实施与监督等相关规定。其中,规定了非甲烷总烃最高允许排放浓度为50mg/m3。
案例:废气净化设备RCO催化燃烧安装在客户厂区
半导体行业作为高新技术产业往往被人误解为 “清洁”产业,但事实上,半导体生产过程中使用了大量有机和无机物,包括许多有毒有害物质,对环境危害较为严重,如不加以控制,将会产生较大的环境污染。
据国家统计局数据,截至2016年我国电子元件制造行业规模以上企业数量达5751家。我国的半导体行业市场集中度较高,主要集中在长江三角洲、珠江三角洲、环渤海以及中西部区域。
半导体行业目前绝大部分地区参照国家《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996),仅对排放的部分等污染物苯、甲苯、二甲苯等规定了排放限值,国内地方行业标准只有1~3个指标,不能面对行业排放污染物较多的实际问题;缺少行业特征污染物项目如苯系物、异丙醇、醛酮类、乙酸酯类等作为VOCs控制指标,也不能反映行业的生产特殊性。
此前,2018年发布的江苏省《半导体行业污染物排放标准》(征求意见稿)中规定的非甲烷总烃最高允许排放浓度为60mg/m3。
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